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1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G2-L (600mm Ø80)

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상품명 1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G2-L (600mm Ø80)
판매가 10,003,500원 (VAT 별도)
모델 SH-FU-PK-G2-L
상품간략설명 Gas Flow package+이동형Frame + chiller + 진공펌프로 완변한 구성 , 진공펌프를 이용한 완전포화가스분위기 실현, Gas 종류별 전용flow meter및 밸브&배관 추가설치가능(Option) , 로 몸체의 상/하 개폐로 샘플투입 상태 관찰 가능 , 1000℃ 이하 온도사용시 최적의 제품 , Over temp controller 장착 , 모든 구성품 전기 안정성 확보(C.E 인증품)
상품요약정보 Chemical Vapor Deposition (CVD , 화학기상증착) 공정용 전기로 , annealing(소둔) 용 전기로
배송 택배가 불가능한(고중량 제품) 직납운임비 지역별차등
배송비 5,500원 (100,000원 이상 구매 시 무료)
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상품명 Options(Furnace)
판매가 0원
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상품명 가스질량유량계 Mass Flow Controller (Multi gas selectable)
판매가 2,080,000원
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상품명 압력컨트롤러 Back Pressure Regulator (Controllers)
판매가 1,750,000원
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1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G2-L (600mm Ø80) 수량증가 수량감소 10003500 (  )
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1200℃ 튜브전기로  패키지 Tube Furnace Package 600mm Ø50
Package Model FU-PK-G2
Furnace ModelSH-FU-80LTG-WG
ChillerSH-WB-7CDR
Vacuum PumpSH-V10
Oil Mist TrapVOT-1020
TableMoving Frame
Dimension1465x725x1440mm
57.67x28.54x56.69''
Cat.NOFUPKG2600





1200℃ Furnace SH-FU-LTG
Model SH-FU-80LTG-WG
FurnaceSH-FU-80LTG
ComponentsGas Flowmeter 1EA
Stainless Steel Pipe & Connector
Gas Sealing Mask
Quartz Tube (Length 1200 mm)
Cat. No.120 VFU80LTGWG120
230 VFU80LTGWG230
    • Safety Device
  • -Automatic reset function incoming power cut
  • -Buzzer on when set time arrived
  • -Over temperature protection
    • Option
  • -Gas inlet module 추가
  • -MFC, BPR
  • gas module
1200℃ Furnace SH-FU-LTG
Model SH-FU-80LTG
Max Temp1200℃ (2192℉)
Temp ControllerProgrammable Controller(FC-1000)
SensorK type
Applicable Tube Diameter80 Φ
Heater Capa5300 W
Dimension Hot ZoneLength 600 mm
Dimension External
(W×D×H )
802x365x537mm
31.57x14.37x21.14''
Weight56 Kg
Heater ElementKanthal A-1
InsulationCeramic Board & Wool
Electrical Requirements
120V, 50/60Hz, 1Φ
44.1 A
Cat. No. 50Hz(60Hz)FU80LTG120
Electrical Requirements
230V, 50/60Hz, 1Φ
23 A
Cat. No. 50Hz(60Hz)FU80LTG230
Electrical Requirements
230V ,50/60Hz, 3Φ
N/A
Cat. No. 50Hz(60Hz)
Electrical Requirements
380V ,50/60Hz, 3Φ
Cat. No. 50Hz(60Hz)











저온순환항온수조 6.8L
Model SH-WB-7CDR
Temp RangeAmbient -40℃ to 150℃ (Low Limit -20℃)
Ambient -64℉ to 302℉
Temp ControllerMicroprocessor membrane Digital PID Controller
Time Range00.00 to 99HR 59MIN (MIN SEC) Selectable Digital Counter
Capa6.8 L
Recirculating Pump
(Max flow)
13 L / Min
Heater Capa1.5 KW
Dimension Internal
(W×D×H )
150x300x150mm
5.91x11.81x5.90''
Dimension External
(W×D×H )
340x417x605mm
13.38x16.41x23.82''
Top Open
(W×D)
150x120mm
5.91x4.72''
Net weight44 Kg
Material InternalStainless Steel
Material ExternalSteel Plate With Powder Heating Coated
Electrical Requirements
230V ,50Hz, 1Φ
6.5 A
Cat. No.WB7CDR230-50
Electrical Requirements
230V ,60Hz, 1Φ
6.5 A
Cat. No.WB7CDR230-60
    • Accessory
  • -Bath Lid
    • Option
  • -RS-485 interface
  • -RS-232C interface
  • -40℃ Cool Down System
    • Safety Device
  • -Automatic reset function incoming power cut
  • -Buzzer on when set time arrived
  • -Electric leakage circuit breaker
  • -Over temperature alarm
  • -Refrigerator over load protection
  • -High temp limit controller



오일로타리 진공펌프
Model SH-V10
Pumping Speed(50/60Hz)78L/min
Ultimate total pressure gas
ballast close
5x10-2 Pa
( 3.7x10-4 torr )
Ultimate total pressure gas
ballast open
3 Pa
( 2.2x10-2 torr )
Power supply220V,50/60Hz  or  110V,50/60Hz
Power rating(kw)0.4(1 Phase)
Inlet/Exhaust FlangeKF 16/25
Oil capacity(L)0.6~1.0
Ambient temperature(℃)5~40
Noise level(dB)≤56
Weight(kg)19
Recommended for
Vacuum Drying Ovens
(SH-VDO-08NG, SH-VDO-30NG, SH-VDO-70NG,
SH-VDO-30NS, SH-VDO-70NS)
Tube Furnace All Packages
    • Option
  • 오일로타리 진공펌프 오일 미스트 트랩
  • Oil Mist Trap with Filter
  • VOT-1020 : V10, V20
  • VOT-4080 : V40, V60
  • 오일로타리 진공펌프  오일 미스트 트랩 필터
  • Filter for Oil Mist Trap
  • VOTF-1020 : VOT-1020
  • VOTF-4080 : VOT-4080



Dimensions
ModelABCDEGHIJKLDN
SH-V10460144207210110126154454534/KF16/25




Mass Flow Controller 가스질량유량계

Model MC Series MCS Series MCV Series
TypeGeneralFor Toxi GasFor Vacuum
Flow Range0 ~ 1 slpm / 0 ~ 5 slpm
Mass Flow Accuracy at
calibration conditions
±0.6% of reading or ±0.1% of full scale±0.8% of reading or ±0.2% of full scale
Operating Temperature Range -10 to +60°C
Temperature Accuracy ±0.75°C
Operating Pressure full scale145 PSIG
Pressure AccuracyAbove 1 atm: ±0.5% of reading
Typical Indication Response Time< 10 ms < 100 ms
Typical Warm-Up Time <1 Second
Monochrome LCDSimultaneously displays
mass Flow, pressure and
temperature
Simultaneously displays mass Flow,
Volumetric Flow, pressure and temperature
Mechanical Dimensions
(HxWxD)
104.14x91.44x27.94mm / 4.1x3.6x1.1"121.92x172.72x38.1mm /4.8x6.8x1.5"
Gas Selectable98 Gas128 Gas98 Gas
CommunicationRS-232







Back Pressure Regulator (Controllers) 압력컨트롤러
Model BPR Series BPRS Series
TypeGeneralFor Toxi Gas
Pressure Range1PSIG ~ 15PSIG
Standard Accuracy± 0.25% (≥ 1 psi)
Repeatability± 0.08% Full Scale
Typical Response Time< 100 ms
Warm-up Time< 1 Second
Operating Temperature-10 to +60℃
Monochrome LCDDisplays Pressure
Mechanical Dimensions
(HxWxD)
104.14x91.4x27.94mm / 4.1x3.6x1.1"












    적용분야
  • 우주소재 및 금속재료 생산 산업분야/세라믹, 합금, 타타늄의 열처리를 수행하는 파괴시험 연구, 개발 및 생산
    Destructive testing laboratories who carry heat treatment of ceramic, alloy, titanium and etc for aerospace and metallic production industries.
  • 니켈함금과 같은 금속류 분말을 소결하는 연구, 개발 및 생산
    Building companies who transforms metallic power such as nickel alloy into sintered materials by sintering.
  • 고분자합성물과 그라핀을 개발하는 재료공학 연구, 개발 및 생산
    Material technology providers who develop polymer composites and graphene materials.
  • 가스분위기에서 상온과 고온(1700도)의 반복산화시험을 수행하는 우주항공용 소재 연구,개발 및 생산
    Aerospace companies who perform cyclic oxidation test between high tmep to room temperature in atmosphere-controlled environment.
  • 재료의 연소를 통해 성분을 분석해야 하는 의료 연구, 개발
    ​Medical and healthcare companies who need analysis of ashes and contents through combustion of materials.
  • 진공과 가스분위기에서 소결을 해야 하는 재료 혁신 연구, 개발 및 생산
    Material innovation companies who do sintering in vacuum or in inert gases.
  • 인코넬 718 튜브를 소결, 소둔, 경화하는 진공전기로가 필요한 해상용 표면 인젝션 시스템 연구, 개발및 생산
    Subsea and surface injection system companies who need vacuum furnace for softening cycles, annealing and age hardening of Inconel 718 tubes.
  • 다양한 물질을 열처리시험을 통해 분석하는 연구, 개발
    ​Analytical research labs who perform various material testing with thermal treatment.
  • 합금파우더를 소둔하는 의료용 임플란트 연구, 개발및 생산
    Medical implants manufacturers who anneal alloy powders.
  • 고분자세라믹부품의 소결을 하는 대학교 재료 과학 연구,개발
    Material scientists in universities who do sintering materials such as polymer-derived ceramic parts.
  • 고체산화연료전지를 가공하는 응용과학기술 분야
    Applied science engineers who process solid oxide fuel cells (SOFC).
  • 연소물질이 필요한 환경 화학 연구 분양
    Environmental and chemical researchers who need combustion of materials.
  • 위험물질관리, 오염토양복원, 공기오염관리 분야
    Regulatory compliance service providers in the areas of hazardous waste thermal treatment, air permitting, air pollution control, contaminated soil remediation, and hazardous waste management.
  • 금속 진공남땜이 필요한 금속부품 생산 분양
    Metallic parts manufacturers who need vacuum brazing and heat treating for steel.
  • ASTM D2584에 따라 섬유강화합성물의 유리성분을 시험해야 하는 수질처리 분야
    Water treatment companies who test glass content in FRP (fiber reinforced polymer) products according to ASTM D2584.
  • 질화갈륨 반도체 웨이퍼를 소둔하는 반도체 분야
    Semiconductor manufacturers who anneal Gallium nitride (GaN) semiconductor wafer.
  • 다공세라믹튜브을 위한 양생과 소결방법을 연구하는 엔지니어링 분양
    Engineering companies who do curing and sintering solutions in porous ceramic tubes.
  • 토양연소가 필요한 토목공학 분야
    Civil engineers who need soil combustion.
  • 진공조건에서 실리카 웨이퍼를 소둔하는 연구 분야
    University labs who anneal Si wafer in vacuum condition.
  • 탄소나노섬유(CNT) 전구의 열처리를 수행하는 화학연구분야
    Chemistry research departments who do the thermal treatments (stabilization in air and carbonization in argon) of carbon nanofiber precursors.
  • 해상용 중유의 성분을 분석하는 해상장비제조분양
    Marine equipment manufacturers who analyze ash content in marine HFO (Heavy Fuel Oil).
  • 화학증기증착기법(CVD) 을 이용한 그라핀기반재료를 생산하는 그라핀 연구, 개발 및 생산
    Graphene solution companies who produce graphene-based materials by CVD (Chemical Vapor Deposition) method. CVD furnace
  • 폴리머, 옥사이드, 인산염, 황화물을 이용한 차세대 고체전지 개발분양
    ​Solid state battery manufacturer with polymer electrolyte, oxide electrolyte, sulfide electrolyte, phosphate electrolyte and etc.


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